一手产品资讯 √ 精品案例资料 √ 渠道推广素材 √ 芯片厂漏掉的压缩气体，算的是两笔账。 一笔是电费。 行业平均泄漏率在20%–30%， 一座大型晶圆厂每年因压缩空气泄漏 而白白流失的电费常达 数百万元到上千万元； 漏点多藏在夹层、桥架里， 人看不见， 但每分每秒都在发生。 而另一笔则更不可忽视。 贴近工艺设备的微漏， 会直接影响产品良品率 这笔账，远比漏掉的那点气费贵得多！ 今天整理了芯片厂最容易漏气的几类点位 看看是不是你们厂也有！ 传统测漏方式的弊端 一、肥皂水在洁净区用不了 查漏最常用的肥皂水，在洁净区是明令禁止的——它同时带来水分、钠钾离子和残留物。湿度一变，光刻质量就受影响，离子进入器件还会影响可靠性；检测完还得额外清洁，甚至重做洁净度验证。 洁净区需要的，是不接触管路、不引入任何外来物质的检测方式。 二、漏点位置够不到 洁净区的管路大多走在技术夹层、桥架和管廊里，靠人爬上去逐段喷肥皂水、逐点看，很难做成常态化的全覆盖；加上巡检本身有严格的物品和行为限制，大面积普查长期处在"知道要做、但难做"的状态。 三、查完之后难管住 一座芯片厂的管网分布在洁净区、技术夹层和动力站，分属不同班组、不同班次。谁查的、哪里漏、修没修、修完有没有再漏，散落在纸单、表格和口头交接里。 查归查、修归修、记归记，缺的是一条把它们串起来的流程。多地多厂区布局的企业，这个问题会更难解决。 而这些问题，海康微影一套方案就能解决！ 声像仪检测压缩气体漏点机内效果 微影 方案 01 检测端：不引入污染、够得着、看得清 洁净区可以正常进场 声波成像仪采用非接触式检测，只被动接收声波，全程不接触管路，不引入任何污染。检测结束不需要额外清洁，也不用重新做洁净度验证，对生产影响小，效率也更高。 疑难漏点一扫就现形 开机自动选频，屏蔽车间底噪；64/136mic 声学阵列捕捉细微的漏点声音。 站在地面一扫，高处、技术夹层和管廊里的管路都能纳入检测范围，全程不需要停机，也不用拆开夹层逐段排查。 屏幕上直接给出彩色声场图，声音转成画面，漏点位置直观可读，还能留图存档、事后比对。 原本需要多人分区轮巡、耗时很长的工作量，一台设备扫一趟就能覆盖；漏点被及时找出并处理掉，工艺端少一个干扰因素，良品率也多一层保障。 02 管理端：从分散记录到全程可追溯 如果说单机检测解决的是"找得到"的问题，那系统管理才是真正帮企业把漏损"管得住"的核心。 以往巡检结果分散在不同班组和班次，有没有查、有没有修、修完有没有再漏，缺少统一的过程记录。 而接入海康iPark管理系统之后，流程变成： （系统全称：Infovision iPark Platform智慧园区管理平台） 漏点位置、泄漏等级、修复进度全部落到线上，过程可追溯、结果可量化。 哪个区域漏点多、哪个点位反复漏，数据一拉就清楚；对多地多厂区的企业，同一套流程还能横向复制到各个基地，彼此之间可以直接对比。 任务管理页面 问题管理页面 END 海康微影全系列巡检产品方案 支持免费试用 扫码立即预约！
快速链接
